本文使用热裂解-气相色谱质谱联用仪对抛光液样品分别进行裂解气模式（EGA）分析和双步裂解模式（Double-Shot）分析，通过谱库检索功能可获得样品中大分子聚合物和低沸点小分子的信息。该方法样品用量少，操作简单，结果可靠，可较全面地定性抛光液中的有机成分。

使用自动缺陷分析系统AIM-9000进行测量时，通常能将厚度不超过约10 mm的样品设置在载物台上，但通过取下下部卡塞格伦镜（聚光反射镜），可对最大厚度为40 mm的样品进行反射和ATR测量。在此，本文对厚度为10 mm以上的样品进行反射测量进行介绍。

本文建立了一种使用岛津超高效液相色谱和三重四极杆质谱联用技术快速测定水样中NDMA的方法。该方法可在6 min内实现水中低浓度水平NDMA的快速测定。本文中对NDMA的线性关系、重复性、检出限和定量限值以及基质加标回收率进行了考察验证。结果表明：NDMA的线性关系良好，相关系数为0.9997，准确度为92.1%~104.1%。仪器的重复性良好，不同浓度水平溶液的保留时间和峰面积的相对标准偏差分别在0.19%和2.65%以下。对空白水样的加标回收率在67.4%~82.9%之间，符合行业实际水体样品测试情况。根据HJ168-2010标准规定获得NDMA的仪器定量限为0.68 μg/L，远低于