参考《GB/T 34972-2017电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》，使用5%HNO3作为吸收液对电子工业用氩气进行样品前处理，并使用岛津ICPMS-2030测试气体中的多元素。分析结果表明，方法检出限0.0002~1.0702 μg/L，准确度好，加标回收率89.5%~108.5%，可满足电子工业用气中金属元素的检测要求。