本文采用了岛津ICPMS-2030型电感耦合等离子体质谱仪测定了二氧化硅样品中的Ce、Co、Cr、Cu、Fe、Mn及Ni等7种金属元素。实验结果表明，该方法具有灵敏度高，检出限低(0.20~8.89 μg/kg)，精密度高（RSD≤2.15%），分析速度快，操作简单，加标回收率在98.6~108.0%，该方法可适于二氧化硅样品的金属杂质元素测定。