光刻胶是微电子制造的核心材料之一，具有极高的技术壁垒，其成分配方工艺对光刻产品的性能具有重大影响。本文探索建立红外光谱定性分析光刻胶主要成分的方法，通过测试烘干光刻胶溶剂前后的红外光谱图，结合标准谱库和官能团分析等手段，可获得光刻胶中主要成分信息。该法具有分析速度快、操作简单、成本低和结果可靠等优势，可作为分析光刻胶成分的手段之一。

由于铜管易于加工，耐腐蚀性强，因此被用于空调冷媒管线和自来水管管线。但是，因所使用的环境不同，铜管可能发生腐蚀。为长时间安全使用铜管，研究、检查发生腐蚀的环境和进展情况十分重要。为此，微焦X射线CT系统可以作为观察铜管腐蚀的有效工具。X射线CT系统可无损地显示对象的三维结构。因此，可在不破坏铜管的状态下，观察管内外的三维形状。此外，可使用同一试样评估腐蚀的进展程度，不必担心丢失用于观察的腐蚀部位，形状发生变化。本文将介绍通过微焦X射线CT系统inspeXioSMX-225CT FPD HR Plus（图1）观察使用甲酸水溶液腐蚀铜管时的三维形状变化的示例。

本文采用配置脉冲放电氦离子化检测器（PDHID）的岛津GC-2030气相色谱仪建立了聚合级乙烯、丙烯中痕量永久性气体的方法，利用夹套吹扫十通阀和夹套吹扫六通阀与填充柱系统组合，在9min内完成分离并测定聚合级烯烃中H2、O2、N2、CH4、CO和CO2等组分。该方法灵敏，O2、N2、CH4、CO2的检出限＜15 nmol/mol，H2和CO的检出限＜40 nmol/mol；所有检测的组分峰面积重复性良好，6次进样RSD＜0.4%。本方法满足ASTM D8098-17和T/CIESC 0021-2022方法要求，可用于石油化工、煤化工中聚合级烯烃中痕量永久性气体监测和分析，也可用于高纯气体中部分