本文使用岛津GC-2014气相色谱仪结合甲烷转化炉、FID和PDHID检测器建立了高纯氦气中微量杂质的分析方法。采用两个吹扫六通阀自动进样，超纯氦气做载气表现出良好的重现性和检出限。氖气最低检出限可达0.10μL/L，其余10种组分最低检出限均可达0.01μL/L，完全满足GB/T 4844-2011对超纯氦杂质分析的需求。

生物技术药物是指采用DNA重组技术或其他创新生物技术生产的治疗药物，大多由微生物或哺乳动物细胞制备而来，具有复杂的分子结构，其生产涉及诸多生物学过程，如细胞培养、目的产物的分离纯化等，在这些生产过程中，目标产品容易受到各种生物或理化条件等的影响。因此，建立完善的质量控制标准，是确保产品安全、有效、质量可控的关键要素。生物技术药物质量研究，是完善质量标准的前提和基础，主要包括分析方法的开发建立、理化特性分析、生物学活性测定、生产工艺的优化及稳定性评价、残留杂质检测、制剂相关的安全性研究、产品的配方及保存运输条件的确定等多个方面，其中任何环节的疏忽都可能对终产品的安全性和有效性产生影响。因此，质量

三氯氢硅是生产多晶硅的原料，但其中的微量杂质会大大影响多晶硅的导电性能，从而影响太阳能电池的转换效率。本文建立了气相色谱质谱(GCMS)测定三氯氢硅中的杂质甲基二氯氢硅的方法。甲基二氯氢硅在1~100 ng/mL的范围内，相关系数r大于0.997，且方法的重现性好，相对标准偏差小于3%。