环境水中的石油类污染物含量是反映水质的指标之一。本文采用傅立叶变换红外光谱仪选择三波长法定量测试水中油类含量，样品测试方便，测定结果准确。

本文参考GB/T 14849.4-2014《工业硅化学分析方法 第4部分：杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法》，采用湿法消解工业硅粉样品，利用岛津电感耦合等离子体发射光谱仪ICPE-9820测定了样品中杂质元素的含量。分析结果表明，各元素的方法检出限为0.004 mg/kg ~ 6 mg/kg；仪器精密度优良，RSD值小于1.30%（n=6）；样品加标回收率为96.0%~110%。该方法灵敏度高，精密度优良，适用于工业硅粉中杂质元素含量的测定。

X射线光电子能谱（XPS）是一种在距离对样品表面约10 nm的深度范围内，进行元素定性、定量以及分析化学结合状态的表面分析方法。XPS是一种有效的材料表面分析方法，广泛应用于半导体和电池材料等材料的研发领域。另一方面，由于XPS无法检测出氢，因此需要分析表面上的羟基时，仅使用XPS可能难以完成评价。例如，表面的羟基对硅晶圆镜面之间的键合会产生很大影响1)。由于XPS难以明确判别硅的氧化物和氢氧化物，因此同时使用其他科可评价氢含量的表面分析方法，从多角度评价样品可以说是很重要的。 反射式电子能量损失谱（REELS）作为一种可分析化学状态和电子结构的表面分析方法而备受瞩目。其可以实现XPS难以检测