通过XPS可以了解材料表面10nm厚度的元素化学态信息，而通过ARXPS可以将分析深度进一步降低到1~3nm。但是ARXPS数据的解析是困难的，本文说明了如何通过MEM软件来对ARXPS数据进行重构得到深度剖析曲线。同时通过Minibeam VI团簇离子枪对表面污染进行去除，研究了表面污染对MEM结果的影响。

等离子喷涂制作羟基磷灰石（HAP）的涂层中，沉积的涂层并非单一的HAP结晶相，往往会形成晶态HAP、非晶HAP、磷酸三钙（α-TCP、β-TCP）、磷酸四钙（TTCP）、氧化钙（CaO）。在植入体内后，不同的钙磷化合物有不同的溶解速度，从而导致相组成不同的涂层具有不同的力学性能和溶解行为。本文参照ISO13779-2018和GB23101-2010，使用纯相HAP、α-TCP、β-TCP、TTCP和CaO配置了不同含量的标准品，在岛津X射线衍射仪上制作了HAP中不同杂质相的定量曲线，可供医疗植入物生产企业和研发机构参考。

2021年工信部印发关于《重点新材料首批次应用示范指导目录(2021年版)》的通告，将用于集成电路和新型显示的电子气体的特种气体如高纯一氟甲烷等33种气体列为重点新材料。电子特气的发展进入有序的快车道。电子特气的质量管控主要针对纯度的控制，气体纯度分析采用扣除杂质的差减法计算，气体纯度分析实际是对气体中微量或者痕量的气体检测。岛津公司自进入中国以来，一直积极应对石化、电子气体、工业气体等行业的需要，及时提供整体解决方案，满足用户应用需求。最新推出的《岛津电子特气分析解决方案》，供参考。