二氧化硅被广泛应用于半导体等电子部件的密封材料以及涂料填料等各种领域。如果在二氧化硅中包含异常的粗颗粒（异物或凝聚物），电子零部件会发生成形不良、绝缘不良、电气性能不良，而涂料会发生涂膜强度下降、涂敷不均等现象。评价二氧化硅的尺寸主要使用激光衍射式粒度分布测定装置（以下简称LD）和扫描电子显微镜（以下简称SEM）等。但是上述设备在测试过程中也存在一些问题，例如LD检测微量粗颗粒灵敏度较低，SEM的观察视野狭窄，导致检测时间过长，无法确保足够的测量数量，而且无法获得浓度信息等等。与之相比，动态图像分析方法可以在短时间内定量获得大量的颗粒图像，因此，适用于快速进行微量粗颗粒检测和浓度评价。动态颗粒

本文建立了热脱附+气相色谱-质谱联用仪测定环境空气中35种挥发性有机物含量的分析方法。结果表明：在5~100 ng的浓度范围内，各有机化合物的线性相关系数r均在0.999以上，线性关系良好。取35种挥发性有机物（浓度5 ng）标准溶液重复进样6次，各组分峰面积的相对标准偏差（RSD%）均在10%以下（1,1,2-三氯-1,2,2-三氟乙烷RSD为15.5%），精密度良好。实际样品在浓度25 ng的加标水平下，35种化合物的加标回收率在75~110%之间。本方法参照标准HJ 644-2013，操作简单方便，可为环境空气中有机化合物的测定提供参考。

本文使用岛津GCMS-QP2010 Ultra气相色谱质谱联用仪结合MARKES公司UNITY-xr电子制冷预浓缩仪建立了离线检测环境空气中15种ODS的方法。环境空气样品置于苏玛罐中，经UNITY-xr电子制冷预浓缩仪富集、脱附、除水、除二氧化碳和浓缩后，进入GCMS进行分析，以SIM方式进行采集，外标法定量。结果显示：所有化合物在0.05 ng/mL的浓度下，峰面积RSD%均小于3.70%，在0.05~1 ng/mL的浓度范围内线性相关系数均大于0.9990，检出限为0.128-2.942 pg/mL。本方法简单易操作、重现性好、检出限低，是环境空气中ODS的理想分析方法。