GaAs等半导体材料受到了越来越多的关注，XPS技术在半导体材料分析上有着重要的应用。本文分析了高能Ag Lα光源在分析氮掺杂GaAs类材料上的优势，此外还介绍了其相对于其他高能光源的优势和可以增加采样深度的优点。

本文参考标准《土壤和沉积物19 种金属元素总量的测定 电感耦合等离子体质谱法》（HJ1315-2023），使用岛津ICPMS-2050LF电感耦合等离子体质谱仪测定土壤标准物质GBW07402（GSS-2）和GBW07404（GSS-4）中19种元素的含量。实验结果表明，该方法灵敏度高，精密度高，定量准确，可满足土壤和沉积物中19种元素含量的测定要求。

采用混合酸（硝酸-盐酸-氢氟酸-高氯酸）敞开消解方法前处理水系沉积物样品，ICP-AES标准曲线法测定了水系沉积成分分析物国家标准物质GBW07318（GSD-14）中的多种常微量元素的含量。实验结果表明，该方法线性相关系数良好，r>0.9995，方法检出限低，精密度高，RSD