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气相色谱法快速分析电子特气NF3中杂质
气相色谱法快速分析电子特气NF3中杂质
本文使用岛津GC-2014气相色谱仪,双通道,两阀四柱,双TCD系统,结合用户实际情况建立了NF3生产中控样品的连续、在线分析方法,可在12min以内完成对H2、N2、CF4、CO2、N2O等杂质的快速分析,双通道相互独立连接不同采样点,恒温分析可实现全天候连续分析。并充分发挥岛津TCD在低温条件下性能稳定的优势,降低了NF3热分解提高分析准确性。
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