本文使用岛津GC-2014气相色谱仪结合甲烷转化炉、FID和PDHID检测器建立了高纯氦气中微量杂质的分析方法。采用两个吹扫六通阀自动进样，超纯氦气做载气表现出良好的重现性和检出限。氖气最低检出限可达0.10μL/L，其余10种组分最低检出限均可达0.01μL/L，完全满足GB/T 4844-2011对超纯氦杂质分析的需求。