本文使用岛津GC-2014气相色谱仪，双通道，两阀四柱，双TCD系统，结合用户实际情况建立了NF3生产中控样品的连续、在线分析方法，可在12min以内完成对H2、N2、CF4、CO2、N2O等杂质的快速分析，双通道相互独立连接不同采样点，恒温分析可实现全天候连续分析。并充分发挥岛津TCD在低温条件下性能稳定的优势，降低了NF3热分解提高分析准确性。

本文使用岛津GCMS-QP2020 NX结合顶空HS-20 NX Trap模式建立了废液中8种酯类化合物的测定方法。结果显示：在10~200 µg/L浓度范围内，8种酯类化合物标准曲线线性良好，相关系数均在0.999以上。取5 mL浓度为10 µg/L标液分别放入6个顶空瓶中连续进样，8种酯类化合物峰面积RSD%范围在1.62~3.95%之间，精密度优良。加标实验中，加标浓度为20 µg/L，各化合物回收率在102.33~118.80%之间。本方法操作简单，定量准确可靠，可用于废液中酯类化合物的测定。

本文建立了使用岛津GC-2010 Plus结合BID检测器测定工业用溶剂（丙酮、甲醇）中水分含量的方法。在0.001%~1%浓度范围内线性关系良好，相关系数r大于0.999。0.01%的水标样重复进样6次，其峰面积重复性良好，RSD%小于2%。该方法可用于工业用溶剂中水分含量的快速定量测定。