本文以实际样品测定为例，介绍了使用掠角反射附件测定金属基底超薄膜的方法。

本应用报告中，采用有机溶剂稀释润滑油，采用ICP-MS 2050分析了润滑油中的添加剂和微量元素。为验证准确性，分析结果中，还评估了加标回收率。

本文参考ICH Q3D元素杂质指南及USP对杂质元素的测定方法，利用电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定了注射剂辅料中杂质元素的含量。实验结果表明：各元素的相关系数 r＞0.9998，加标回收率在91.7~109.9%之间，满足USP对样品加标回收率70%~150%的要求，6份样品1倍限量值加标结果的相对标准偏差小于3%，方法的精密度值（%RSD）完全符合USP规定每种目标元素的RSD值小于20%的要求，该方法操作简便、快速，样品前处理简单，可以满足ICH Q3D中辅料中杂质元素限量值的测定要求。