傅里叶变换红外光谱分析在半导体行业及其晶体材料结构、成分分析和杂质缺陷特性研究等方面起到了较大的作用。本文以实际测定为例，介绍了使用岛津IRAffinity-1和衰减全反射附件测定玻璃镀膜（a-SiH）的红外光谱图，计算其薄膜中的氢含量，然后利用岛津分峰软件进行分峰后，计算R因子。

半导体企业生产制造过程是一个高水耗过程，且纯水水质对产品品质有至关重要的影响。为确保出水水质符合要求，制备超纯水时需对重要环节的进出水进行监测，监测指标包含总有机碳(TOC)、导电度或水阻值等。通过实时监测掌握水质变化情况，尽早发现问题并采取措施，保证生产用水的品质需求。半导体企业生产废水由有机废水、含氟废水、研磨废水、酸碱废水等混合而成，水污染物包含悬浮物、有机污染物、氨氮等，成分复杂，主要监测指标为COD/TOC、氨氮、铜、PH等。此外，半导体企业生产过程中还会排放有机废气、酸性废气、碱性废气等，包含大量挥发性有机物(VOCs)。VOCs作为我国大气污染防治联防联控的重要污染物，需对进行监

采用HNO3-H2O2(62)作为消解剂对奶粉样品进行微波消解，然后应用电感耦合等离子体发射光谱技术(ICP-AES)分别对婴儿奶粉和学生奶粉中的钙、镁、钾、钠、铁、锰、铜和锌八种金属元素进行测定，各元素的回收率在92.0～117.0%之间，相对标准偏差RSD≤3.98，方法检出限在0.30～40.0 ?g/L之间。该方法快速简便、准确率高、精密度好，适合奶粉中微量元素和常量元素的测定。