六氟化硫（SF6）作为一种绝缘性能良好且稳定性较高的气体被广泛应用于各个领域，可用于气体绝缘变压器和断路器等电气设备中，也可作为示踪气体。除此之外，SF6 作为高效温室气体而被人们所认识，COP3 会议的京都议定书将其列为需控制排放的对象。传统分析方法采用高灵敏度分析的电子捕获检测器ECD，但该方法存在一些问题，如高浓度区域定量准确度，以及因使用放射性同位素而导致手续繁琐的问题。岛津公司的介质阻挡放电等离子体检测器BID 能够高灵敏度地检测所有成分。凭借独创的屏障放电技术，使其成为一种稳定性可与传统通用检测器媲美，且同时兼具高灵敏度的检测器。本应用主要介绍SF6 和SF6 分解产物的分析实例。