本文介绍运用inspeXio SMX-225CT FPD HR Plus微焦点X射线CT系统观察智能手机锂电池内部结构。使用CT扫描后通过岛津公司软件MPR立即显示CT截面图，观察内部结构。通过VG软件得出锂电池3D图并剥离出极耳以观察形貌，同时观察极片破损及测量正负极差。放大智能手机锂电池四个角中的一个角进行CT扫描，清晰观察内部机构和极片裂纹、极片破损等缺陷。使用VG软件平铺展开极片，直观观察极片中的孔隙。

红外光束聚焦附件，可以将光斑缩小，测试微小样品及较大样品上的微小区域，可配合使用不同的夹具，测试不同类型的样品。本文使用XYZ样品台及1.5 mm光阑样品架测试了晶圆片中1.8 mm直径的微处理单元的红外光谱，比较微处理不同区域的红外光谱透射率的差异，为晶圆片的质量管控和工艺优化提供指导。

废水处理过程中，碳源的精准投放非常重要。