XPS（X射线光电子能谱分析：X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种除能够对物质表面约10nm处存在的元素进行定性/定量分析外，还能够分析化学键状态的表面分析方法。物质的化学键状态是决定材料特性的重要因素，XPS被广泛运用于表面改性的分析、树脂劣化试验的评估，以及电子部件的故障分析等情况。为进行高准确度的化学键状态分析，需要具有高能量分辨率的谱图。本文将为大家介绍使用具有能量分辨率的KRATOS ULTRA2TM 测定的有机物的实例。

本文应用基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪（MALDI-TOF）对光刻胶样品进行分析，采用反-2-[3-(4-叔丁基苯基)-2-甲基-2-亚丙烯基]丙二腈（DCTB）基质，在正离子模式下进行数据采集，结果显示，在m/z 1-3600范围内，检测到一系列不同聚合度的质谱峰，相邻质谱峰平均相差约120 Da，与酚醛树脂单体-(C8H8O)n-分子量相符，聚合物质谱分布模式与酚醛树脂理论结构式相符。结果表明MALDI-TOF适用于光刻胶中酚醛树脂的分子量表征和合成情况确认，分析过程具有无需复杂前处理、分析速度快、分析成本低的特点。

本文采用岛津高效液相色谱联合三重四极杆质谱，建立了测定2-脱氧-2-氟-岩藻糖含量的方法。该方法中，2-脱氧-2-氟-岩藻糖在5~100 μg/L范围内线性良好，相关系数为0.9999。精密度实验中，浓度为10 μg/L 2-脱氧-2-氟-岩藻糖的保留时间RSD%为0.40%，峰面积RSD%为6.42%；浓度为50 μg/L 2-脱氧-2-氟-岩藻糖的保留时间RSD%为0.31%，峰面积RSD%为3.94%。实验结果表明，该方法能快速准确地测定2-脱氧-2-氟-岩藻糖的含量。