采用高灵敏度的PDHID检测器，完成一次进样同时分析电子级六氟化硫中的永久性气体（O2、N2、CO、CO2）和氟化碳组分（CF4、C2F6、C3F8）。分析时间在30分钟内，使用目标组分浓度在10ppm左右的标样进行分析，重现RSD≤2%。

X射线光电子能谱（XPS）分析结合平行成像技术可以有效对材料表面缺陷处进行微区分析，本文选取了半导体材料的“金手指”及缺陷区域进行测量，获得了较理想的测试效果。

本文利用岛津GCMS-QP2020 NX气相色谱-质谱联用仪，建立了甲磺酸盐类药物中甲磺酸甲酯和甲磺酸乙酯两种甲磺酸烷基酯类杂质的检测方法。在5~80 ng/mL浓度范围内，甲磺酸甲酯和甲磺酸乙酯线性关系良好，相关系数达到0.9999以上，仪器检出限在0.28~0.85 ng/mL之间。取浓度为10 ng/mL的标准品溶液连续进样7针，甲磺酸甲酯和甲磺酸乙酯峰面积RSD均小于4%。加标实验中，回收率在94.30%~110.00%之间。该方法简单方便，可满足甲磺酸盐类药物中甲磺酸甲酯和甲磺酸乙酯两种甲磺酸烷基酯类杂质的检测。