对产品和零件粗糙度等形貌特征的评价，大多希望在不破坏零件的情况下进行，但大多数零件的形状都很复杂，因此，在不破坏零件的前提下，对其进行形状评价的测定机很少。3D测定激光显微镜OLS系列是利用多种类物镜在不接触样品的情况下超快速进行微米到超微米的精密形状测定的装置。本次介绍利用OLS专用长工作距离物镜进行驱动器零件的表面粗糙度和磨损痕迹的评价的实例。