本文利用岛津公司GC-2010 Plus气相色谱仪，结合全新开发的通用型BID-2010 Plus检测器，6min内完成永久性的分析。采用两阀四柱系统，Rt-Q PLOT 和Rt-MS-5A毛细管柱分析永久性气体，BID-2010 Plus进行检测。该系统峰面积重现性良好，RSD小于1%，检出限低， LOD小于10ppm，适合永久性气体的快速分析。

半导体企业生产制造过程是一个高水耗过程，且纯水水质对产品品质有至关重要的影响。为确保出水水质符合要求，制备超纯水时需对重要环节的进出水进行监测，监测指标包含总有机碳(TOC)、导电度或水阻值等。通过实时监测掌握水质变化情况，尽早发现问题并采取措施，保证生产用水的品质需求。半导体企业生产废水由有机废水、含氟废水、研磨废水、酸碱废水等混合而成，水污染物包含悬浮物、有机污染物、氨氮等，成分复杂，主要监测指标为COD/TOC、氨氮、铜、PH等。此外，半导体企业生产过程中还会排放有机废气、酸性废气、碱性废气等，包含大量挥发性有机物(VOCs)。VOCs作为我国大气污染防治联防联控的重要污染物，需对进行监

土壤中有效硫含量是土壤普查的主要指标之一，本文参考行业标准《土壤检测 第14部分：土壤有效硫的测定》（NY/T 1121.14-2006），使用岛津电感耦合等离子体发射光谱仪ICPE-9820建立了测定土壤有效硫含量的方法。结果表明，该方法检出限低，分析结果准确，测试重复性好，满足土壤有效硫含量的测定要求。