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傅里叶变换红外光谱仪测定太阳能薄膜中氢含量和R因子
傅里叶变换红外光谱仪测定太阳能薄膜中氢含量和R因子
傅里叶变换红外光谱分析在半导体行业及其晶体材料结构、成分分析和杂质缺陷特性研究等方面起到了较大的作用。本文以实际测定为例,介绍了使用岛津IRAffinity-1和衰减全反射附件测定玻璃镀膜(a-SiH)的红外光谱图,计算其薄膜中的氢含量,然后利用岛津分峰软件进行分峰后,计算R因子。
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