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傅立叶变换红外光谱仪测定半导体材料硅中的氧碳含量
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傅立叶变换红外光谱仪测定半导体材料硅中的氧碳含量
2017.08.29
类型: 应用报告
浏览:328
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傅立叶变换红外光谱分析在半导体行业及其晶体材料结构、成分分析和杂质缺陷特性研究等方面起到了较大的作用。本文以实际测定为例,介绍了使用岛津IRAffinity-1测定半导体材料硅的透射率,并根据国标计算半导体材料硅中的氧碳含量。
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