氮化硅陶瓷作为高温结构材料，在诸多高精领域有着广泛应用。本文利用岛津电子探针显微分析仪对某氮化硅陶瓷制品内部缺陷进行了微观形态观察及微区成分分析，结果显示缺陷边侧条状物主要成分为Fe、Cr等金属元素，推测该缺陷可能是混料不匀或设备金属部件表面部分剥落混入粉料造成的。该方法可拓展用于氮化硅陶瓷产品失效分析、质量控制及工艺研发工作。