离型膜表面涂布的离型剂，可以有效降低离型膜的剥离力。离型膜中离型剂的涂布量，影响到离型膜的离型效果、生产成本、涂布质量等。能量色散型X射线荧光光谱仪，通过分析离型膜表面涂布的含硅离型剂中的硅的强度，计算得到含硅离型剂涂布量与硅测试强度的曲线，可用于离型膜表面离型剂涂布量的分析。该分析方法具有分析灵敏度高，分析数据稳定，分析准确度好的优点，分析过程无损快速，分析样品无需特别处理，适用于生产质量控制分析。