本文采用MDGC-GCMS系统，通过两根极性不同的毛细管柱串联，对艾氏剂标准品中的杂质进行进一步分离，达到准确定性分析。

2021年工信部印发关于《重点新材料首批次应用示范指导目录(2021年版)》的通告，将用于集成电路和新型显示的电子气体的特种气体如高纯一氟甲烷等33种气体列为重点新材料。电子特气的发展进入有序的快车道。电子特气的质量管控主要针对纯度的控制，气体纯度分析采用扣除杂质的差减法计算，气体纯度分析实际是对气体中微量或者痕量的气体检测。岛津公司自进入中国以来，一直积极应对石化、电子气体、工业气体等行业的需要，及时提供整体解决方案，满足用户应用需求。最新推出的《岛津电子特气分析解决方案》，供参考。

采用Tenax TA采样管对大气或工作场所中的苯系物样品进行富集后，利用热脱附和GCMS仪联用分析并建立了苯系物含量的测定方法。在5~200 ng的范围内建立苯系物的标准曲线，相关系数在0.9998以上，平行6次测定苯系物保留时间RSD在0.378%以下，峰面积RSD在4.44%以下。当采样量为3L时，方法最低检出限在0.015~0.033 ?g/m3之间，定量限为0.049~0.110 ?g/m3之间，可以用于空气中苯系物含量的快速测定。