EDX-8100 是可搭载氦气置换单元（选配品）的轻元素高灵敏型荧光X射线分析装置。通过使用本单元，可以实现对液体或者其它无法在真空下测试的试样中所含的轻元素进行高灵敏度分析。因此，使用EDX-8100可以测定过去使用EDX-8000无法分析的溶液中的氟（F）。对溶液中F～K元素，在He氛围下的的检出限和装载样品的薄膜对分析性能的影响进行了评价。