本文使用岛津GC-2014气相色谱仪，双通道，两阀四柱，双TCD系统，结合用户实际情况建立了NF3生产中控样品的连续、在线分析方法，可在12min以内完成对H2、N2、CF4、CO2、N2O等杂质的快速分析，双通道相互独立连接不同采样点，恒温分析可实现全天候连续分析。并充分发挥岛津TCD在低温条件下性能稳定的优势，降低了NF3热分解提高分析准确性。

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医学检验是运用现代物理化学方法、手段进行医学诊断的一门学科，主要研究如何通过实验室技术、医疗仪器设备为临床诊断、治疗提供依据。医学检验的主要项目有临床检验、生化检验、免疫检验、微生物检验、分子生物学检验、血液检验、病理学检验等。从事医学检验的机构和组织有:医院(检验科、药剂科等) 血站、疾控中心、独立医学检验公司等。目前，临床诊断中品常用的质谱类型有三重四极杆质谱仪LC-MS/MS、气相色谱质谱仪GC-MS、基质辅助激光解析质谱仪MALDI-TOF、四极杆飞行时间质谱仪O-TOF和电感耦合等离子体质谱仪ICP-MS等。特别是LC-MS/MS，是当前在临床诊断中应用最广的质谱技术。依托于成熟的产