红外显微镜用于分析小于100μm的微小异物。红外显微镜和FTIR一样，可以根据样品的特点，选择透射法、反射法和ATR法。其中，ATR法是使ATR棱镜与样品密切接触，检测样品表面的反射光的方法，可应用于直接分析附着在产品上的异物等场合。本文介绍了使用可以棱镜密切接触时进行可视观察的红外显微镜用金刚石ATR物镜DAOS，分析过滤器捕集的纤维状异物的案例。

硅砂样品和合适的熔剂按一定比例混匀，加入脱模剂置于铂黄坩埚中，经高温熔融制成玻璃熔片，建立了使用多道同时型X射线荧光光谱仪（岛津公司MXF-N3 Plus）快速测试硅砂样品中SiO2、Fe2O3、Al2O3、CaO、MgO、TiO2、MnO、P2O5、K2O和Na2O等元素的分析方法。实验结果表明，高温熔片法能消除矿物效应、组织效应和颗粒度效应。该方法元素曲线线性良好，相关系数都在0.99以上，方法准确度和精度优于国标GB/T 3404-1982和GB/T 7143-2010的规定要求。